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发布时间:2022-08-14 12:33:00 作者:航新
悬浮光力学是光力学与光学结合的产物,为微纳机械振子的控制和测量提供了一种全新的方法,这种方法具有准确的观测精度,可接近甚至突破标准极限,具有广阔的发展和应用前景。目前国际上已在室温下利用此系统实现了力、力矩、位移、加速度等多个物理量的极高灵敏度测量。石英挠性加速度传感器一般为单轴力矩反馈式加速度计,通过检测质量来检测外界的加速度信号,再经伺服电路解调、放大,在输出电流信号正比于加速度信号。
选购加速度传感器要考虑
1、模拟输出vs数字输出:这个是需要考虑的。这个取决于你系统中和加速度传感器之间的接口。一般模拟输出的电压和加速度是成比例的,比如2.5V对应0g的加速度,2.6V对应于0.5g的加速度。数字输出一般使用脉宽调制(PWM)信号。
2、测量轴数量:
3、测量值:
4、灵敏度:
5、带宽:
6、电阻/缓存机制:
随着惯性系统低成本化的发展,开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。由于这种仪表采用挠性支承技术,所以称为石英挠性加速度计,且其结构与工艺大大简化。目前这种石英挠性加速度计已广泛应用于各类现代惯性系统中。三轴石英扰性加速度传感器批发挠性的材料为温度性能很好的石英玻璃,外形采用超声加工而成,挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法;也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性材料,三轴石英扰性加速度传感器批发由伺服电路中差动电容检测器检测,其输出为电流,此电流经电流积分器变成输出电压,然后跨导补偿放大器把电压变成输出电流,该输出电流的大小与输入加速度成正比。
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