加速度计-航新公司-石英加速度计

石英挠性加速度计是一种高精度的传感器，主要用于测量物体的加速度。根据不同的型号和规格，可以将其分为以下几种：

1. 压阻式石英挠性加速度计：采用压阻效应原理，通过检测硅片形变产生的电阻变化来测量加速度。

2. 应变式石英挠性加速度计：采用应变效应原理，通过检测硅片形变产生的电导变化来测量加速度。

3. 振动式石英挠性加速度计：采用振动效应原理，通过检测硅片在受力后的振动频率来测量加速度。

4. 热敏式石英挠性加速度计：采用热敏效应原理，加速度计，通过检测硅片在受力后的温度变化来测量加速度。

以上是常见的几种石英挠性加速度计型号，它们各自具有的优点和适用范围，在工业、、航空航天等领域得到广泛应用。

石英加速度计测试标准与技术要点石英加速度计作为高精度惯性测量器件，其性能测试需遵循严格的行业标准，主要包括以下测试项目：1.静态参数测试-零偏稳定性：在恒定温度下，无加速度输入时输出值的波动范围，通常要求≤50μg（1σ）-标度因数：输入单位加速度对应的输出量，误差需控制在±0.05%以内-非线性度：全量程范围内实测值与理论值的偏差，应＜0.1%FS-阈值分辨率：小可检测加速度值，石英加速度计，典型值≤10μg2.动态特性测试-频率响应：通过扫频测试-3dB带宽，典型范围0-2000Hz-阻尼比测试：要求0.6-0.8之间以保证动态响应特性-谐振频率验证：确保工作频段低于谐振频率的1/33.环境适应性测试-温度特性：-55℃至+125℃范围内标度因数变化＜±0.01%/℃-冲击试验：承受1000g/0.5ms半正弦波冲击后性能不退化-振动试验：随机振动功率谱密度0.04g2/Hz（20-2000Hz）4.长期稳定性测试-零偏重复性：连续24小时测试，漂移量＜100μg-年稳定性：标定周期内参数变化＜0.1%5.交叉轴灵敏度测试-正交轴向干扰抑制比≥40dB-安装基准面误差＜0.05°主要参考标准：-国军标GJB1038A《压电加速度计通用规范》-IEEE1293-2015《石英加速度计测试方法》-MIL-PRF-28800F《惯性传感器测试程序》测试需在离心机、振动台和温控箱中进行，单轴加速度计厂家，数据采集系统应具备24位AD转换精度，采样率不低于10kHz。测试报告需包含原始数据、拟合曲线及不确定度分析，确保测试结果可追溯至国家计量基准。

石英挠性加速度计是一种基于石英材料挠性结构和惯性原理的高精度加速度传感器，挠性加速度计，其测量过程可分为以下步骤：###一、结构与工作原理1.**挠性摆组件**：由石英玻璃制成的双摆结构组成，包含检测质量块和挠性支撑梁。石英材料具有低热膨胀系数和高弹性特性。2.**差动电容检测**：质量块两侧对称布置电容极板，构成差动电容传感器，间距约10-50μm。3.**闭环反馈系统**：通过静电力或电磁力实现力平衡控制，保持质量块动态平衡。###二、动态测量流程1.**加速度输入**：外部加速度作用于传感器时，检测质量块因惯性力产生位移。2.**电容变化检测**：质量块位移导致两侧电容差值变化（典型灵敏度0.1pF/g）。3.**信号转换**：电容变化经调制解调电路转换为电压信号（常用载波频率1-10kHz）。4.**闭环反馈控制**：输出信号经PID控制器生成反馈电流（典型范围±10mA），驱动力矩器产生平衡力。5.**数据输出**：反馈电流值与加速度成线性关系（标准输出±5V或4-20mA），经AD转换输出数字信号。###三、关键技术特性-**灵敏度**：可达10^-5g量级（0.1mg分辨率）-**带宽**：0-100Hz（可通过阻尼调节）-**温度补偿**：内置热敏电阻网络，补偿范围-40℃~85℃-**交叉耦合误差**：###四、应用校准要点1.需在精密离心机或重力场翻转装置中进行标定2.六位置法校准（±X/Y/Z轴向）3.二次非线性误差补偿（典型值该传感器通过力平衡原理实现10^-6g量级精度，在战略制导、航天器姿态控制等场景具有性，其抗冲击能力可达1000g以上，MTBF超过50，000小时。