石英加速度计生产厂家-石英加速度计-航新仪器服务商

石英挠性加速度计的常见参数包括：

1. 量程：可测量加速度的范围。

2. 精度：测量结果的准确程度。

3. 分辨率：能分辨出的加速度变化。

4. 零偏：无加速度输入时的输出值。

5. 标度因数：输出与输入加速度的比例关系。

6. 带宽：可准确测量的频率范围。

7. 线性度：输入输出关系的线性程度。

8. 重复性：多次测量同一加速度时结果的一致性。

9. 工作温度范围：正常工作的温度区间。

10. 长期稳定性：长时间使用时性能的稳定程度。

石英挠性加速度计是一种高精度惯性传感器，其结构设计融合了材料特性与精密机械的优势，石英加速度计原理，主要特点如下：###1.**石英材料特性**石英晶体因其优异的物理性能成为材料：具备高弹性模量、低热膨胀系数和的机械稳定性。这种材料特性使其在温度变化下形变，同时性强，石英加速度计生产厂家，适合长期高精度工作环境。###2.**挠性支撑结构**采用石英薄片或微细梁构成的柔性支撑系统取代传统机械弹簧。典型设计为双端固定梁或U型结构，通过光刻或微加工技术形成微米级厚度的弹性梁。这种无摩擦、无间隙的支撑方式显著降低了迟滞效应，提升了灵敏度和重复性。###3.**质量块与检测机制**检测质量块由石英或金属配重构成，与挠性梁一体化加工而成。加速度作用下，质量块产生的惯性力使梁发生微米级弯曲形变。位移检测多采用差动电容式设计，通过梁两侧的固定电极形成电容对，将位移转化为电信号变化，灵敏度可达微g级。###4.**闭环反馈系统**高精度型号常配备电磁力平衡回路。位移信号经解调放大后，石英加速度计，反馈线圈产生反向电磁力使质量块归零，形成闭环控制。此设计扩展了线性量程，同时抑制谐振峰，改善动态响应。###5.**温度补偿与封装**通过石英晶向优化设计及外围电路的温度补偿算法，高抗型石英加速度计，降低温漂影响。结构封装采用真空或充阻尼气体（如氮气）的金属壳体，既减少空气阻尼波动，又隔绝外界振动与湿气。###6.**交叉轴抑制设计**对称式梁布局结合质量块优化，使主敏感轴刚度远低于正交方向，交叉耦合误差可控制在0.1%以下。部分型号增设机械限位结构，防止过载冲击导致梁断裂。###7.**制造工艺**基于MEMS技术或超精密机械加工，通过光刻、离子刻蚀等工艺实现微结构成形，确保批量一致性。后道工序包含激光修调，调整质量块惯量，匹配标定参数。该结构设计使石英挠性加速度计在航空航天、战略等领域占据重要地位，其全固态特性兼具高可靠性（MTBF>5万小时）与抗冲击能力（>1000g），成为惯性导航系统的元件。

石英挠性加速度计的工作原理如下：

它利用石英材料的弹性特性。在加速度计中，有一个石英摆片，通过挠性支撑结构与基座相连。当有加速度作用时，惯性力会使摆片产生微小的变形。摆片上镀有金属电极，其与固定的电极之间形成电容。加速度的变化会导致摆片变形量的改变，从而引起电容值的变化。通过检测电容的变化，并经过一系列的信号处理和转换，就可以测量出加速度的大小和方向。这种加速度计具有高精度、高稳定性等特点。