石英绕行加速度计-廊坊航新公司-徐州加速度计

**石英挠性加速度计通用规范**石英挠性加速度计是一种基于石英材料挠性支撑结构和差动电容检测原理的高精度惯性传感器，广泛应用于航空航天、惯性导航、精密仪器及工业控制等领域。本规范规定了其通用技术要求、试验方法、检验规则及包装运输要求，确保产品性能与可靠性符合行业标准。###1.**技术要求**-**结构与材料**：采用高纯度熔融石英加工成挠性梁结构，石英加速度计尺寸，敏感元件与壳体间需具备优异的抗振性和热稳定性。电极采用真空镀膜工艺，确保信号检测精度。-**性能参数**：量程范围通常为±1g至±50g，标度因数非线性误差≤0.1%，零偏稳定性≤50μg，重复性误差≤0.05%FS。-**环境适应性**：工作温度范围-40℃～+85℃，存储温度-55℃～+125℃；抗冲击能力≥1000g（半正弦波，6ms），抗振动能力≥10g（20～2000Hz）。-**电气特性**：供电电压±5V～±15V，输出信号为差分电压或电流（4～20mA），石英绕行加速度计，带宽≥500Hz，噪声密度≤10μg/√Hz。###2.**试验方法**-**静态性能测试**：通过高精度离心机或重力场标定标度因数及零偏。-**动态响应测试**：利用振动台和冲击台验证频响特性及抗干扰能力。-**温度试验**：在高低温箱中测试温度漂移及补偿效果，确保全温区零偏稳定性。-**长期稳定性试验**：连续通电1000小时，监测参数漂移量。###3.**检验规则**-**型式检验**：涵盖全部性能及环境试验，石英挠性伺服加速度计，适用于新产品定型或工艺变更。-**出厂检验**：每台产品需通过基本功能、零偏、标度因数及绝缘电阻测试，合格率≥99.5%。###4.**包装与运输**-采用防震、防潮包装，内部填充惰性材料；存储环境湿度≤60%RH，避免强磁场干扰。-运输过程中需标注“精密仪器”“防摔”标识，建议使用恒温箱运输。###5.**应用范围**适用于高精度惯性导航系统（如、）、船舶姿态控制、石油勘探定向钻井及工业机器人运动反馈等场景。本规范依据GJB1039A-2004《加速度计通用规范》及行业实践制定，确保产品设计、生产及验收的标准化，为用户提供可靠的质量保障。

石英挠性加速度计密封结构设计关键技术解析石英挠性加速度计作为高精度惯性测量装置，其密封结构设计直接影响器件的长期稳定性和环境适应性。本文从材料选择、结构优化和工艺控制三方面阐述设计要点：1.材料体系设计密封结构采用金属-非金属复合体系，外层选用TC4钛合金或Invar合金作为主壳体材料（线膨胀系数1.2×10^-6/℃），与内部熔融石英元件（0.54×10^-6/℃）实现热匹配。中间层设置硅橡胶缓冲垫（硬度50±5ShoreA），有效衰减20-2000Hz振动传递。接触界面采用Au80Sn20焊料实现气密封接，漏率2.多层防护架构采用三级防护体系：外层硬质氧化铝陶瓷防护罩（厚度0.8mm）提供IP68防护等级；中层真空镀膜铝箔（厚度50μm）实现电磁屏蔽（衰减≥60dB）；内层设置分子筛吸附剂（3A型，徐州加速度计，装填量5%容积）维持3.精密封装工艺采用激光微焊接技术（功率35W，脉宽8ms），焊缝宽度控制在0.15±0.02mm。封装过程在10^-3Pa真空环境下充填高纯氮气（纯度99.999%），保压测试满足1.5倍工作压力（2MPa）无泄漏。进行-55℃~125℃三次温度循环老炼，确保结构可靠性。该设计经实测验证，在10g振动条件下输出波动2500Hz。

石英挠性加速度计主要由表头组件和电路部分组成。表头组件包括石英摆片、上下力矩器、检测电容等；电路部分通常包含前置放大器、解调电路、滤波器、伺服电路等。其中，石英摆片是敏感元件，通过其在加速度作用下的挠曲变形来感知加速度。上下力矩器用于产生反馈力矩以实现闭环控制。检测电容用于检测摆片的位置变化并转化为电信号，再经电路部分进行处理和放大，终输出与加速度成正比的电信号。石英挠性加速度计具有以下一些性能特点：

1. 高精度：能够实现较高的测量精度。

2. 高稳定性：长期工作稳定性较好。

3. 宽频带：可在较宽的频率范围内准确测量加速度。

4. 低噪声：输出信号的噪声水平相对较低。

5. 高可靠性：结构可靠，能在多种环境条件下可靠工作。

6. 体积小、重量轻：便于安装和使用在不同的应用场景。

7. 温度适应性：在一定温度范围内能保持较好性能。

8. 快速响应：对加速度变化的响应速度较快。