单向加速度传感器-加速度传感器-航新仪器仪表(查看)

企业视频展播，请点击播放视频作者：廊坊市航新仪器仪表有限公司

石英挠性加速度计精度

石英挠性加速度计是一种基于石英材料特性的高精度惯性传感器，其精度通常由分辨率、稳定性、温度敏感度及非线性误差等参数表征。在工业与科研领域，其综合精度可达**10??g至10??g量级**（微重力级），具体表现如下：1.**分辨率与灵敏度**石英材料的低迟滞特性使其分辨率达到**0.1-1μg（微重力）**，可检测微小加速度变化。例如，在静态重力场测量中，可区分低至地球重力（1g）的百万分之一变化。2.**长期稳定性**通过精密加工与温度补偿设计，年稳定性优于**50-200μg**，确保长期使用中无需频繁校准。例如，航天器导航系统中要求年漂移量低于100μg以维持轨道控制精度。3.**温度影响**石英材料虽具热稳定性，但温度系数仍需补偿。典型温漂系数为**10-50μg/℃**，采用闭环温控或算法补偿后，全温区（-40℃~85℃）误差可控制在100μg以内。4.**非线性与重复性**满量程非线性误差通常低于**0.01%-0.05%FS**（如量程±50g时，误差小于5mg）。重复性误差则可达**0.005%FS**，满足动态环境下的高重复测试需求。5.**应用适配性**在航空航天领域，其抗冲击（>1000g）与宽频响（0-500Hz）特性结合高精度，支持制导与姿态控制；工业领域则用于振动监测与精密仪器校准。相较于MEMS加速度计（精度约1mg），石英挠性方案通过机械结构与闭环伺服系统优化，精度提升2-3个数量级，双轴加速度传感器，但成本与体积较高。未来，新型数字补偿算法与微封装技术有望进一步突破其性能极限。

石英挠性加速度计拆解

石英挠性加速度计拆解指南（技术说明）一、拆解前准备（1）工具选择：防静电镊子、精密螺丝刀组、真空吸盘、放大镜及防静电工作台（2）防护措施：穿戴防静电手环，保持环境湿度40-60%，温度控制在20±5℃二、拆解步骤1.外壳分离-移除6颗M1.2钛合金紧固螺钉（扭矩-使用真空吸盘分离上下盖体（吸力值设定5-8kPa）-观察密封胶残留情况，必要时使用异清洁2.电路模块拆卸-断开柔性PCB连接器（ZIF型，开启力-取出信号处理板（含ASIC芯片，单向加速度传感器，尺寸15×15mm）-记录位移传感器初始位置（误差需3.挠性结构处理-定位石英摆片组件（厚度0.15±0.01mm）-解除力矩器线圈约束（漆包线直径25μm）-分离双轴挠性支撑梁（杨氏模量72GPa）三、关键注意事项1.石英材料脆性：接触压力需2.磁路保护：磁钢组件剩磁>1.2T，拆解时保持10cm间距3.清洁规范：仅允许使用超纯氮气吹扫（纯度99.999%）四、风险提示本拆解过程具有不可逆性，会导致Q-Flex敏感结构参数（标度因数、零偏）发生不可逆改变（典型偏差>5%）。建议非人员避免自行拆解，需在Class100洁净环境下由计量工程师操作。注：拆解后器件需重新进行温度补偿（-40~85℃）、振动校准（20-2000Hz）等18项标定程序方可恢复使用功能。

石英挠性加速度计是一种基于惯性原理的高精度传感器，其结构由石英材料与精密机械设计结合而成，主要包含以下关键部件：1.**石英挠性梁**作为弹性元件，通常由单晶石英通过光刻或微加工技术制成薄片结构，厚度可达微米级。石英的高弹性模量和低热膨胀系数赋予梁优异的机械稳定性。其的挠性设计（如E型或双端固定结构）允许在敏感轴方向产生可控形变，同时约束其他自由度，确保线性响应。2.**惯性质量块**由高密度材料（如钨合金）制成，通过微焊接或粘接固定于挠性梁末端。质量块在加速度作用下产生惯性力，精度高加速度传感器，驱动挠性梁弯曲变形，其位移量与加速度成正比。质量块设计需平衡灵敏度与结构刚度，通常采用对称布局以减小交叉耦合误差。3.**电容检测系统**由固定电极与质量块附着的动电极构成差分电容结构。挠性梁形变导板间距变化，通过载波调制技术检测电容差值，加速度传感器，灵敏度可达亚纳米级位移识别。极板常镀金以提高导电性，并采用真空封装减少空气阻尼干扰。4.**力反馈闭环系统**包含永磁体、力矩线圈及伺服电路。当检测到位移时，电路生成反馈电流驱动线圈，产生与惯性力平衡的洛伦兹力，使质量块回归零位。反馈电流经精密采样电阻转换后输出加速度信号，该闭环设计大幅提升线性度和动态范围。5.**温度补偿模块**集成微型温度传感器和补偿算法电路。石英虽具低热敏感性，但细微温度漂移仍通过数字滤波或材料匹配（如选用殷钢支架）进行实时校正，确保全温域稳定性。6.**真空密封壳体**采用金属-陶瓷封装技术，内部维持10^-3P真空以消除气体阻尼。外壳多层电磁屏蔽设计有效隔离外部磁场与机械振动，同时通过热膨胀匹配焊接确保长期气密性。这些部件协同工作，使石英挠性加速度计在航空航天、惯性导航等领域实现μg级分辨率与10^-5量级的非线性精度，其结构设计充分体现了微机械系统的高集成与材料特性优化。

单向加速度传感器-加速度传感器-航新仪器仪表(查看)由廊坊市航新仪器仪表有限公司提供。廊坊市航新仪器仪表有限公司是一家从事“加速度传感器,加速度计,石英加速度计等”的公司。自成立以来，我们坚持以“诚信为本，稳健经营”的方针，勇于参与市场的良性竞争，使“航新”品牌拥有良好口碑。我们坚持“服务至上，用户至上”的原则，使航新在电子、电工产品制造设备中赢得了客户的信任，树立了良好的企业形象。 特别说明：本信息的图片和资料仅供参考，欢迎联系我们索取准确的资料，谢谢！同时本公司还是从事石英加速度计，石英加速度计厂家，挠性加速度计的厂家，欢迎来电咨询。